Večosni periskop RMAP
Periskop omogoča meritve s šestimi prostostnimi stopnjami pri aplikacijah z XY-mizami in je konstruiran za zmanjšanje odtisa žarkov več interferometrov na minimum. Večosni periskop s tremi glavami interferometra RLD10-X3-DI točno meri zasuk okrog prečne in navpične osi ter linearni položaj.
Večosni periskop s kotnim razponom ±30 kotnih sekund je združljiv z večino visokozmogljivih miz in še dodatno izboljšuje njihovo zmogljivost. Večosni periskop z eno samo montažno stranico se hitro in preprosto namesti na vakuumsko komoro ali na metrološko ogrodje.
Uporaba glave RLD10-X3-DI za kotne meritve omogoča, da so napake zaradi variabilnosti frekvence laserja in sprememb v okolju enake na obeh poteh. Na ta način se izboljšata točnost in ponovljivost v primerjavi s kotnimi odstopanji, izračunanimi iz dveh neodvisnih žarkov.
Lastnosti in koristi
- Kompakten odtis žarkov – zmanjšan je na 18 mm krat 35 mm za najmanjšo velikost in težo tarčnih zrcal.
- Preprosta montaža – zasnovan je za montažo neposredno na zunanjost vakuumske komore, kamor se pritrdi s štirimi vijaki.
- Visoka zmogljivost – uporaba neodvisnih glav RLD10-X3-DI prinaša izboljšanje točnosti in ponovljivosti v primerjavi s konvencionalnimi metodami.
Informacije o izdelkih
Sorodni izdelki
