Preskoči navigacijo

Uporaba laserskih dajalnikov

Laserski dajalniki z optičnim vlaknom v industriji polprevodnikov

Več o aplikacijah

Industrija polprevodnikov je znana po hitrih ciklih razvoja vedno manjših, hitrejših in cenejših čipov. Eden pomembnejših dejavnikov pri doseganju teh ciljev so tudi visokoučinkoviti proizvodni procesi, ki dosegajo trajno visoko kakovostno raven.

Laserski dajalniki so prav zato zelo razširjeni v industriji polprevodnikov, kjer pomagajo do vrhunske točnosti v ključnih proizvodnih in kontrolnih procesih.

Koristi pri aplikacijah

Glavne zahteveRešitve iz Renishawa
Nanometrska točnostMerilna glava diferencialnega interferometra RLD10-X3-DI omogoča neposredne meritve med stebrom in mizo ali delovanje v vakuumu.
Podnanometrska ponovljivostLaserska enota Renishaw RLU20 ponuja izjemno stabilnost frekvence laserja za vrhunsko ponovljivost pri aplikacijah v vakuumu.
Pikometrske ločljivosti

Vmesnik Renishaw RPI20 omogoča ločljivosti do 38,6 pm v formatu 36-bitne paralelne besede.

Izkušnje

Laserski dajalniki oz. interferometrični sistemi za merjenje pomikov so že vrsto let prisotni v industriji polprevodnikov. Renishaw od leta 2005 dobavlja rešitve z laserskimi dajalniki proizvajalcem originalne opreme za industrijo polprevodnikov in se tako lahko pohvali z zgodovino uspešne podpore in sodelovanja v tej branži.




Detektorska glava diferencialnega interferometra RLD10, aplikacija Raith

Laserski dajalniki z optičnim vlaknom v sinhrotronih

Več o aplikacijah

Sinhrotroni so posebni pospeševalniki delcev, ki se uporabljajo za različne eksperimente v znanstvenih raziskavah. Vsak od teh eksperimentov prinaša posebne izzive, kot so visokonatančni sistemi za krmiljenje gibanj, analiza vibracij ali meritve lezenja. Odvisno od zahtev se v teh eksperimentih uporabljajo laserski dajalniki ali senzorji pomika.

Koristi pri aplikacijah

Glavne zahteveRešitve iz Renishawa
Preprosta poravnava in namestitevSistemi Renishaw RLD so opremljeni z optiko za usmerjanje žarka, ki skupaj z lasersko enoto z optičnim vlaknom zagotavlja preprosto pripravo in poravnavo sistema.
Visoka frekvenca posodabljanjaUSB-vmesnik pri enoti RSU10 omogoča največjo frekvenco posodabljanja 50 kHz, ki jo lahko izkoristijo standardni paketi programske opreme Renishaw ali rešitve po meri, zgrajene z brezplačnim razvojnim paketom SDK.
Deljenje znanja in delovna partnerstvaPogosto je prvi izziv že samo razumevanje in opredeljevanje tistega, kar je treba meriti. Družba Renishaw je v svoji zgodovini neštetokrat dokazala, da zna s svojimi kupci razviti prava delovna partnerstva, iz katerih vzniknejo najboljše rešitve.

Izkušnje

Sinhrotroni delujejo po vsem svetu in so različnih velikosti. Družba Renishaw je imela priložnost sodelovati z več organizacijami ter razviti praktično in uporabno rešitev, ki pogosto presega začetne zahteve.

Aplikacija RLE ISARA

Laserski dajalniki z optičnim vlaknom v XY-mizah

Več o aplikacijah

XY-mize se uporabljajo pri najrazličnejših nalogah, od velikoserijske proizvodnje do opreme za preizkušanje, raziskave in razvoj. Pri XY-mizah so znane težave z Abbejevo napako oz. s kotnimi napakami znotraj mize, ki lahko povzročijo velike napake pri pozicioniranju na mizi. Vpliv teh virov napak je mogoče odpraviti z interferometričnimi dajalniki in merjenjem v točkah zanimanja.

Koristi pri aplikacijah

Glavne zahteveRešitve iz Renishawa
Odprava Abbejeve napake oz. napak v miziSistem Renishaw RLE s kompaktnimi detektorskimi glavami se preprosto montira v bližini mize. Na ta način je mogoče preprosto meriti neposredno v točki zanimanja.
Oddaljeni viri toploteLaserski viri običajno oddajajo veliko toplote. Renishaw ponuja rešitev z dovodom laserske svetlobe po optičnih vlaknih, zato se lahko laserska enota (RLU) postavi na oddaljenosti 3 ali 6 m od delovnega območja, s čimer je preprečeno lokalno segrevanje.
Preprosta integracija in pripravaZnano je, da je integracija in priprava interferometričnih sistemov zahtevna naloga. Renishawu je z razvojem rešitve z optičnimi vlakni ter kompaktnim interferometrom in detektorjem uspelo združiti merilno zmogljivost interferometričnih dajalnikov ter preprostost montaže običajnih optičnih dajalnikov.

Izkušnje

Renishaw se ponaša z več kot 20 leti izkušenj na področju integracije interferometričnih dajalniških rešitev pri različnih aplikacijah, od zahtevnega okolja delavnic s CNC-obdelovalnimi stroji do industrije polprevodnikov z visokimi zahtevami glede zmogljivosti.

Izkušnje so nastale v sodelovanju z različnimi proizvajalci originalne opreme in graditelji miz, kjer so se stkala tesna partnerstva. Prav pomoč pri integraciji interferometričnih dajalnikov v njihove izdelke naslednjih generacij je tisto, kar prinaša stalen napredek tehnologije.

Sistem RLE na mizi XY


Slika z dovoljenjem podjetja Aerotech.

Laserski dajalniki dolgega dosega – letalska in vesoljska industrija

Več o aplikacijah

Letalska in vesoljska industrija si prizadeva dosegati ozke tolerance na največjih delih, pri tem pa si uspešno pomaga z laserskimi interferometričnimi dajalniki. Pri velikih CNC-strojih, s kakršnimi se običajno obdelujejo nosilci kril ali deli trupa, dolžina osi pogosto presega 30 m. Sistem Renishaw HS20 v kombinaciji s kompenzatorjem RCU10 lahko na 30-metrski osi dosega natančnost ±30 µm.


Koristi pri aplikacijah

Glavne zahteveRešitve iz Renishawa
Meritve z dolgim dosegom v zahtevnih okoljihLaserska glava Renishaw HS20 lahko meri razdalje do 60 m. S preizkušeno zgodovino zanesljivega delovanja tudi v najzahtevnejših pogojih glava HS20 ohranja svoj vodilni položaj na trgu.
Brezkontakten merilni sistemBrezkontaktne meritve odpravljajo napake, ki se pojavljajo pri merilnih sistemih s krogličnim vretenom ali zobato letvijo, kot so histereza, zračnost v vodilih, mehanska obraba in ciklične napake.
Kompenzacija raztezkov obdelovanca in konstrukcije strojaKompenzacijski sistem RCU10 vsebuje integrirane module, ki sledijo temperaturnim raztezkom in krčenju konstrukcije stroja in obdelovanca, s tem pa ohranja točnost v dolgotrajnih obdelovalnih ciklih.

Izkušnje

Renishaw sodeluje s proizvajalci letal in velikih CNC-strojev po vsem svetu, pri katerih danes deluje veliko število laserskih interferometričnih sistemov.

Ti interferometrični sistemi se uporabljajo na strojih za obdelavo posebnih letalskih zlitin in kompozitnih materialov z ogljikovimi vlakni, iz katerih so zgrajena današnja letala. Vse te aplikacije zahtevajo najstrožje tolerance na največjih delih, kar je preprosto dosegljivo z interferometričnimi dajalniškimi sistemi Renishaw.

Aplikacija HS20

Laserski dajalniki dolgega dosega – koordinatni merilni stroji

Več o aplikacijah

Koordinatni merilni stroji (KMS) običajno delajo z optičnimi dajalniki. Pri večjih KMS, ki morajo delovati točno in ponovljivo, pa se vse pogosteje vgrajujejo tudi laserski interferometrični dajalniki.

KMS so najpogosteje portalne konstrukcije in posledično lahko na večjih KMS napaka poševnosti povzroči velike napake pri pozicioniranju. Vgradnja interferometričnih dajalnikov na portal je rešitev, s katero lahko odpravimo napako poševnosti.

Koristi pri aplikacijah

Glavne zahteveRešitve iz Renishawa
Meritve dolgega dosegaLaserski dajalniki Renishaw omogočajo meritve dolgega dosega do 60 m s HS20 in 4 m z RLE.
Točka zanimanjaGlavna prednost laserskih interferometričnih dajalnikov je možnost preprostega merjenja v točki zanimanja.
Preprosta montaža in poravnavaSistemi Renishaw uporabljajo vir vidne svetlobe in v kombinaciji s preprostim izhodom 0–1 V iz laserskega vira za moč signala zagotavljajo preprosto montažo in poravnavo.

Izkušnje

Renishaw je v sodelovanju s proizvajalci originalne opreme razvil različne konfiguracije, ki dosegajo merilno zmogljivost po specifikacijah uporabnikov. Razumevanje merilnotehničnih okvirjev je ključno za razvoj pravih rešitev.

Slike kontrole na KMS

Laserski dajalniki dolgega dosega – LCD-zasloni

Več o aplikacijah

Z razvojem tehnologije v industriji LCD-zaslonov so vse bolj dovršeni tudi stroji, ki te izdelke proizvajajo in kontrolirajo. Veliki zasloni z majhnimi detajli zahtevajo večjo zmogljivost merilnih sistemov na strojih. Rešitev za te zahteve so laserski dajalniki.

Koristi pri aplikacijah

Glavne zahteveRešitve iz Renishawa
Točka zanimanjaZa aplikacije z velikimi XY-mizami, kjer inherentna Abbejeva napaka vpliva na natančnost stroja. Laserski dajalniki Renishaw omogočajo meritve neposredno v točki zanimanja.
Preizkušena tehnologija v podobnih industrijahLaserski dajalniki Renishaw se že vrsto let uporabljajo v industriji polprevodnikov, kjer so se izkazali kot zanesljivi in sposobni zagotavljanja enake ravni zmogljivosti kot novi sistemi, tudi po letih neprekinjene uporabe.
Visokozmogljive meritveLaserski interferometrični dajalniki s periodo analognega signala 158 ali 316 nm so sposobni interpoliranih pikometrskih ločljivosti.

Izkušnje

Izkušnje, ki si jih je družba Renishaw nabrala pri delu s proizvajalci originalne opreme in graditelji miz, uporabljamo za skrajšanje časa integracije. Na podlagi svojih izkušenj in znanja iz različnih aplikacij lahko hitro identificiramo najprimernejši interferometrični dajalnik za vaše potrebe.

Kontrola LCD-zaslona (Getty Images)