Interferometer z ravnim zrcalom RLD10
Interferometer z ravnim zrcalom, primeren za uporabo na XY-mizah.
V detektorskih glavah RLD10 je vgrajena interferometrična optika, edinstven večkanalni sistem za zaznavanje interferenčnih prog, laserska zaslonka in integriran usmerjevalnik žarka. Na voljo sta 0° in 90° izvedenki detektorske glave RLD10.
Lastnosti in koristi
- Dvoosne rešitve – dvoosni sistemi z ravnim zrcalom so idealna rešitev za uporabo na XY-mizah.
- Visoka ločljivost – sistemi z ravnim zrcalom so primerni tudi za aplikacije, ki zahtevajo večjo ločljivost od tiste, dosegljive z retroreflektorskimi sistemi.
- Občutljiva okolja – interferometrične detektorske glave z ravnim zrcalom so na voljo tudi v izvedenki z majhno močjo. Primerne so za aplikacije, kjer je dovoljena oddana toplotna moč manjša od 2 W standardne glave RLD10.
Podroben opis
| Hod osi | 0 m do 1 m |
| Ločljivost (konfigurirana z RLU) | Analogni kvadraturni signal = λ/4 (158 nm) |
Napaka nelinearnosti sistema* (SDE) *brez vmesnika | < ±2,5 nm pod 50 mm/s pri jakosti signala > 70 % < ±7,5 nm pri 1 m/s z jakostjo signala > 50 % |
| Največja hitrost | Do 1 m/s |
Pri aplikacijah brez vakuuma je potrebna kompenzacija lomnega količnika za ohranjanje natančnosti v spreminjajočih se delovnih pogojih. Renishaw ponuja za kompenzacijo teh nihanj v realnem času kvadraturni sistem RCU10.
Vgradnja paralelnega vmesnika RPI20 v sistem RLE zagotavlja ločljivost do 38,6 pikometra. Vmesnik sprejema diferencialne analogne 1 Vpp sinusne/kosinusne signale in jih pretvarja v paralelno obliko. Za več informacij o naši dodatni opremi glejte kompenzacijski sistem RCU10 in vmesnike za laserske dajalnike.
Informacije o izdelkih
Sorodni izdelki
