Diferencialni interferometer

Vsebina straniPrenosiPokličite lokalno zastopništvo Stopite v stik z nami prek interneta

RLD10-X3-DI differential interferometer and mirrors Detektorska glava diferencialnega interferometra RLD10-X3-DI omogoča merjenje relativnega premika med fiksnim referenčnim zrcalom in premičnim merilnim zrcalom. Detektorska glava RLD10-X3-DI je zlasti primerna za aplikacije v vakuumu ali nadzorovanem okolju in je zasnovana za montažo na zunanjo steno procesne komore s preprosto tritočkovno pritrditvijo. Za poravnavo detektorske glave ni potreben vstop v komoro - vgrajeni usmerjevalci žarkov omogočajo neodvisno nastavitev referenčnega in merilnega žarka. Sistem je zasnovan tako, da se detektorsko glavo lahko odstrani in repozicionira z minimalnim vplivom na samo poravnavo sistema.

Podroben opis

Doseg 0 - 1 m
Ciklična napaka pod 1 nm
Oblika izhodnega signala Digitalna - RS422 kvadraturni signal
Analogna - 1 Vpp sinus/kosinus
Največja hitrost 1 m/s
Tip laserja HeNe (helij/neon), 632.8 nm, razred II
Življenjska doba laserja nad 50.000 ur

Vrednosti veljajo za glavo RLD10-X3-DI z lasersko enoto RLU20

Lastnosti in prednosti

  • Izjemne merilno-tehnične lastnosti
    Odlična stabilnost frekvence velikostnega reda ppb in ultra nizka ciklična napaka omogočata izhodne ločljivosti do 38,6 pm.
  • Diferencialna konfiguracija
    Meri relativni položaj mize glede na steber ali položaj obdelovanca glede na orodje in odpravlja skupne napake, kot je npr. gibanje stranske stene komore zaradi okoljskih nihanj.
  • Hitra poravnava
    Hitra poravnava zunaj procesne komore s štirimi vgrajenimi usmerjevalci žarkov (nastavitev merilnega in referenčnega žarka ±1° v horizontalni in vertikalni smeri) za kompenzacijo toleranc.

Nadaljnji koraki

Če potrebujete več informacij ali vas zanima cena, stopite v stik z nami prek spleta ali se obrnite na vašega lokalnega predstavnika za Renishaw.